二手 CYMER XLA 160 #194711 待售
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已售出
ID: 194711
Laser for Canon AS3/AS4
Specifications:
Wavelength: 193nm
Average output power: 45W
Pulse energy: 11.25mj
Max. rep rate: 4000 Hz
Bandwidth (FWMH): <0.25pm
2003 vintage.
CYMER XLA 160是由ASML Holding NV的子公司、全球最大的用于半导体光刻的光源供应商CYMER, Inc.设计制造的高功率脉冲激光器。CYMER XLA160是一种二极管泵浦的全光纤激光器,其设计可提供先进的稳定性特性和超强的亮度。在单脉冲模式下可产生高达160 mJ或26 W的脉冲能量,脉冲重复率高达100kHz。XLA 160中的技术利用了分布式布拉格反射器(DBR)和包层泵浦光纤激光器(CPFL)体系结构。通过采用单模增益截面进一步提高了激光的光束质量,改善了光束轮廓和角度分布。这些特性,加上激光的大型M2,创造了一个高度可靠,稳定的光源,将提供复杂的光刻解决方桉。XLA160的设计旨在满足行业对更高能级和严格稳定性要求的需求。它在长寿命内保持精确和一致脉冲能量的能力对于先进光刻领域的人来说是无价的。随着集成电路设计功能的不断缩小,情况尤其如此。通过提高带宽和脉冲到脉冲的稳定性,CYMER XLA 160有助于在先进的光刻应用中发挥领先作用。其卓越的可靠性和小尺寸使得CYMER XLA160激光市场的热门选择。它设计紧凑,长度只有250毫米,很容易融入现有的激光外壳。XLA 160热稳定,利用专有的热管理和夹紧技术,无论环境温度变化如何,都能保持最佳性能。XLA160不仅是一种坚固可靠的激光器,而且具有成本效益。凭借稳定的输出功率和高度可靠的平台,CYMER XLA 160无需昂贵的备件,从而简化了维护并降低了运营成本。总体而言,CYMER XLA160是一种先进的激光器,它为光刻市场带来了许多强大的功能。它提供高功率的脉冲能量,路径长度的锁定架构,优越的光束质量和角度分布,以及可靠的长寿命。此外,其卓越的散热管理和精确度,加上经济高效的设计,使XLA 160成为寻求光刻先进能力的人们的一个有吸引力的选择。
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