二手 CYMER XLA 160 #9177760 待售
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ID: 9177760
Laser
Wavelength (Center): 193.386 nm
Repetition rate: 1 to 4000 Hz (1 Hz increments)
Nominal pulse energy: 10 mJ
Average output power: 40 W
Pulse duration (TIS): ≥45 ns
Duty cycle at 4 kHz: 75%
Spectral bandwidth (FWHM): ≤ 0.2 pm
Spectral bandwidth (E95%): < 0.65 pm
Short term wavelength stability: ≤ ± 0.025 pm
Horizontal beam size: 11.1 ± 1.1 mm
Vertical beam size:
9 ± 0.6 mm
11.6 ± 0.6 mm
Horizontal beam divergence:
1.75 ± 0.75 mrad
0.55 ± 0.35 mrad
Vertical beam divergence:
2.75 ± 0.75 mrad
1.2 ± 0.5 mrad.
CYMER XLA 160是由CYMER, Inc.开发的高功率定向能量激光器。设计用于精密光刻、医学和科学研究,以及工业和国防应用。2005年发布时,XLA 160为这些苛刻的应用做出了高度通用、高效、功能强大的激光标志。该激光器能够产生160瓦的峰值功率输出,其8.5千瓦的低功耗使得它特别适合太阳能、热能或激光感应等离子体源。它为预期的应用程序提供了灵活性、多功能性和价值。CYMER XLA 160采用单一光学元件的多功能整体设计。它配置了四镜光学设备,为激光提供了自动光束调节能力,并允许激光在连续波(CW)和脉冲模式下运行。这一独特的特性使得它成为少数能够在CW和脉冲模式之间即时切换的激光器之一。通过利用脉冲模式操作,激光可以提供比其CW模式更高的输出功率水平。XLA 160结合了高速微处理器控制的光束转向系统,允许以纳米分辨率进行光学相干断层扫描(OCT)成像。光束转向精度是通过闭环控制和光束转向光学系统相结合来实现的。它还利用先进的精密对准装置来优化激光光束相对于OCT成像光学的定位。安全也是CYMER XLA 160的关键特性。该激光器具有眼睛安全光束(其设计目的是防止用户意外暴露于激光束中),并利用符合IEEE-488要求的控制器进行安全操作。所有设置都是可调的,可以远程监控。XLA 160是一款可靠、节能的激光机器,性能卓越。它易于使用的控制和广泛的应用,使其成为工业、研究和国防应用的理想选择。此外,CYMER XLA 160具有先进的光束转向技术、低功耗和先进的安全特性,是激光光刻和其他要求苛刻的激光应用的首选。
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