二手 GIGAPHOTON / KOMATSU G20K2 #293653984 待售

GIGAPHOTON/KOMATSU G20K2晶片步进器是一种高精度光刻设备，用于半导体工业上在晶片上创建精确的图样。它利用有图桉的紫外线在晶圆表面上创建精确形状的遮罩。KOMATSU G20K2拥有一个精密的基础设施-能够生成高达20毫米的精确图像-包括空气系统、温度控制单元、真空机和电源工具。GIGAPHOTON G20K2配备了高分辨率和精密晶片级,该级使用定心机构来确保晶片相对于光刻资产的精确对准。这有助于确保晶圆表面的均匀图样并保持高产率。此外,还提供了一个可选的晶片支架,可用于加载多个晶片并便于操作。G20K2能够支持一系列曝光技术，包括照片和电子束光刻。摄影技术使用常规紫外线，尺寸范围从5纳米到1微米。电子束光刻稍微精确一些，使用1至4纳米范围的电子束。GIGAPHOTON/KOMATSU G20K2的设计可容纳各种晶圆直径,与尺寸可达450毫米的基板兼容。此外，该模型高度自动化，具有自动配方重新加载和自动掩模对准校准等特点。这有助于减少人为错误并确保结果一致。最后，KOMATSU G20K2配备了一系列设备维护选项，包括光刻室的快速轻松清洗、自动系统维修以及远程监控选项。这些功能有助于最小化停机时间并确保高效运行。总体而言，GIGAPHOTON G20K2是一个可靠和精确的晶片步进装置，能够在晶片上产生精确的图桉，具有一定的技术范围和直径。其精密的设计和自动化功能有助于确保一致性和减少停机时间,使其成为任何半导体生产线的绝佳选择。