二手 ABM 350W #9227481 待售

ABM 350W是为半导体工业中的光刻应用而创建的掩模对齐器。它是一种能够自动对准、曝光和开发各种基板的模块化设备。一个半导体晶圆放置在Aligner Base Module中；然后使用对齐器读取器模块从扫描相机检测光掩码对准和图像位置。随后的对齐算法用于调整基板的位置以匹配掩模的位置。350W的光学设备包括数码相机、高亮度灯和传输8 X投影仪。动态对齐过程由一个闭环系统引导，该系统可以快速调整自身以补偿对齐失调。数码相机精确度高，能够解决微观尺寸特征。ABM 350W的Exposure Module（曝光模块）装有一个400W的氙灯，用于将光掩模暴露在基板上。通过控制灯的强度和曝光时间可以精确调节曝光。最后，350W开发模块旨在开发基板的裸露区域，为去除剩余的光致抗蚀剂提供一个可控的过程。它为具有不同高度和宽度的凸起触点、通风孔和阵列晶片等特征提供了最佳开发条件。ABM 350W为微电子和光电子应用提供了高精度、自动化的光刻工艺。它的模块化设计允许灵活性和可扩展性,并提供高分辨率、低失真成像单元,用于精确的对齐和迭加测量。再者，它的闭环机器允许连续的过程优化，从而提高了第一次通过的产量和可重复性。