二手 ABM 6/350/NUV/DCCD/M #293778198 待售

ABM 6/350/NUV/DCCD/M是一种用于微加工过程的最先进的掩模对齐器。此对齐器适用于两蒙版和四蒙版工艺,它具有高分辨率和精确度,并具有六轴运动精度。ABM 6/350/NUV/DCCD/M设计用于产生亚微米精度的衍射受限图样。它具有先进、高精度的光学元件,可实现精确的对准,并可优化吞吐量和均匀性。掩模对准器具有自动校准的单点对准设备,无需手动聚焦光学器件。这样,用户就可以快速轻松地设置系统,而无需冗长的手动校准过程。ABM 6/350/NUV/DCCD/M还具有用于精确特征尺寸控制的可编程孔径膜片和用于精确特征测量的高分辨率、自动化光学显微镜控制。ABM 6/350/NUV/DCCD/M具有高速掩模对准的6-MHz扫描速率,设计用于执行高能和低能曝光过程。它还能够对激光准时、短脉冲和曝光swaj进行可变调整,从而使用户能够优化每项功能的曝光参数。该掩模对准器配有晶圆卡盘加热器和温度控制单元，允许输入和监控准确的温度数据。包括在ABM中的NUV（近紫外色）源6/350/NUV/DCCD/M产生微米/伏技术的最佳照明波长。DCCD（动态相干对比度检测）机还通过精确的对准和放大控制确保增强曝光均匀性。ABM 6/350/NUV/DCCD/M专为高端光刻研究和应用而设计。它允许用户比传统的对齐器更快、更准确地生成更高分辨率的模式和处理复杂的层。ABM 6/350/NUV/DCCD/M是按照工业标准构建的,非常适合工业生产。凭借其超精密的对准工具和智能光学，这种蒙版对准器非常适合实现高端的微加工效果。