二手 ABM ABM/6/500/NUV/DCCD/M #293596008 待售

ABM ABM/6/500/NUV/DCCD/M掩模对准器是半导体集成电路（IC）制造的对准过程中使用的精密设备。它通常由两个主要组成部分组成：晶片级和标线级。晶片级在对齐循环之前将晶片支撑并对齐其位置。标线级负责光掩模（或标线）相对于晶圆的对准位置的对准。这两个阶段的特点是真空系统吸入晶片或标线向下，为对准过程提供了坚实、稳定的基础。ABM ABM/6/500/NUV/DCCD/M掩模对准器配备了一个准直系统，由一个分束器和两个透镜组成，提供了一个准直光源，用于测量晶圆和标线之间的角度不对准。利用沿X-Y-Z轴运行的多台伺服电机,实现了ABM ABM/6/500/NUV/DCCD/M掩模对准器的对准精度。这些伺服电动机提供并保持高达+/-0.5微米的水平和垂直精细水平对准精度。ABM ABM/6/500/NUV/DCCD/M掩码对齐器由工业PC提供动力,该PC具有高级操作单元和用于控制整个对齐过程、定位和扫描的单个软件。这使得机器能够定位晶片和标线，测量未对准，必要时调整或校正对准。此外,PC平台还提供了用于设置、显示器、故障排除和诊断的联网功能。在ABM ABM/6/500/NUV/DCCD/M掩模对准机中采用了由两个成像系统和带弧传感器的连续紫外线光源组成的光学机器。成像工具用于捕捉标线和晶圆的图像，而电弧传感器测量它们的接触角。这样可以确保在X-Y-Z轴上的最大运动精度,并始终保持较低的错误率。此外,ABM ABM/6/500/NUV/DCCD/M还包括双摄像头控制设备（DCCD）,用于观察和比较标线和晶片的图像,从而提供更可靠的对准结果。ABM ABM/6/500/NUV/DCCD/M掩模对齐器的设计使其对齐结果具有更高的准确性。它提供高达0.25微米的重复性精度，其整体对准精度设置为+/-0.5微米。这使得它成为前沿半导体生产线应用的绝佳选择。此外，其先进的控制资产，可靠的光学模型和易于联网使操作简单高效。