二手 ADTEC ACP 630A #293598502 待售
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ADTEC ACP 630A Mask Aligner是半导体工业必不可少的工具,用于将光掩模与晶圆对齐,以便准确地显示制造微芯片的模式。它由双轴对准器、级控制器和照明系统组成。对准过程从一个空白的半导体晶片被放置到舞台控制器开始，这允许精确的水平和垂直运动。当通常由石英制成并涂有光敏材料的光掩模放置在晶片上时，需要精确和精确地对齐。双轴对齐器用于实现这一点，它由提供动态对齐的线性和旋转电动机组成。照明系统由UV-Lamp和Stop- Prism两个组件组成。UV-Lamp负责供应紫外线，使光掩模暴露于晶圆。它有一个散光器，将光均匀地分布在光掩模上。"停止棱镜"用于创建红外光束,将焦点精确对齐晶圆上的标记点。这进一步提高了掩码对齐过程的准确性。ACP 630A是一种多合一掩码对齐器,能够与+/-2 μ m精度对齐。它以稳健的设计构建，适合工业应用和全天候运营。它还配备了一个高分辨率的摄像头，允许光掩模与晶圆更好的对准，最大限度地减少不准确性，提高工艺效率。
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