二手 ASYST 0FH3000-001 #9384810 待售

ASYST 0FH3000-001是一种最先进的掩模对齐器,旨在将高精度的光掩模图样传输到半导体和其他基板上。它与标准的光掩模尺寸兼容，具有多级高精度对准设备。该系统由对称独立的x-y表和紫外线接触成像源组成。0FH3000-001使用四级对准过程来确保极高精度的光掩模放置。它使用两个传感器在光掩码上定位标记,并使用参考光掩码将掩码精确对齐基板。然后该单元使用两个投影干涉仪来识别每个光掩码寄存器标记。此信息用于将每个模具相对于基准标记精确地放置在光掩码上。这样可确保在光掩模的整个表面积上具有较高的放置精度。ASYST 0FH3000-001还具有多区域视图字段。此功能允许机器瞄准多LED或多区域照明,以确保在多区域和/或全尺寸光掩模中进行均匀校正。该工具使用区域成像系统与干涉对准灵敏度相结合，以实现在整个芯片区域上快速准确地放置光掩模图样。0FH3000-001设计用于将高精度的光掩模图样传输到晶圆。为确保高精度和可靠性,ASYST 0FH3000-001采用高精度执行器、零力驱动系统和先进的耐化学材料等先进的光机设计元素,以实现免服务运行。该资产还配备了高分辨率成像源，确保了亚微米光掩模图样的卓越性能。综上所述，0FH3000-001是一种先进的遮罩对齐器，旨在促进高精度的光掩模图样转移到电子生长基板上。它具有多级高精度对准模型和区域成像系统，以确保均匀校正。设备还配备了零力驱动系统和先进的耐化学材料，以便可靠运行。