二手 BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE #9256425 待售
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2014年发布的Brooks BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE Mask Aligner是一款全自动Mask Aligner设备,旨在提高Mask Aligner工艺的速度和效率。PRE-300-CE Mask Aligner提供了三种不同的操作模式来满足研究和生产Mask Aligner应用程序的需求。BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE Mask Aligner旨在简化MEMS、BiCMOS、光电子和微流体元件等设备的生产,并能够解决复杂的光照问题。该系统是一种通用的机械对齐器,使用真空辅助静电卡盘将掩模连接到基板上,并使用高精度直流电动机驱动掩模操纵级。PRE-300-CE配备了一套可靠的光学器件和舞台。它有两组精密协调的取样和掩模对准线性阶段,以及一个优化的聚焦阶段。BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE Mask Aligner具有集成的软件和用户友好界面,旨在自动控制和后处理暴露的样品。软件具有用于对齐对齐过程的实时监视单元。PRE-300-CE Mask Aligner还设计了一种高级真空机,用于处理口罩和基板。BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE Mask Aligner凭借其用户友好的界面和通用的Mask Aligner模式,使用户能够快速轻松地满足生产需求。该工具旨在协助处理光刻、光掩蔽、介电涂层、大气等离子体工艺、MEMS、BiCMOS、光电和微流体元件的制造等工艺。PRE-300-CE Mask Aligner还与400mm和45nm节点和下节点兼容。它是研究、研发和常规生产设置的理想布局工具。BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE Mask Aligner为用户提供了优化的蒙版和基板处理过程、准确、精确的曝光过程以及可靠且用户友好的软件过程。这种资产在布局和生产设置方面已经是一种经济和流行的选择。PRE-300-CE Mask Aligner一定能帮助用户改进生产并减少缺陷和损失。这种模式肯定有助于提高生产过程的效率,减少周期时间。
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