二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 002-7391-08 #9267822 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION 002-7391-08掩模对准器是为光电和集成电路模式设计的高度先进的工具。它能够为难以访问的细线和高精度光掩码制作高分辨率图样。面罩对齐器具有计算机控制的X-Y-Theta舞台，平台大小为8 "x8"，舞台运动可重复性为0.5 μ m，以实现更高精度的对齐。双源、双频深紫外线照明源和直线百叶窗提供了高质量的曝光控制和一致、准确的曝光参数。真空卡盘接触设计允许使用各种基材和厚度进行简单易行的基材装卸。此外，掩模对准器还配备了自动对焦功能和数字舞台定位系统，允许用户选择所需的坐标。其中包括一个界面,使用户能够直接输入坐标和阵列几何数据。此外,可以对设备进行编程以执行预定义的对齐,同时还可以使用可调节的蒙版和舞台进行手动调整。利用集成的8 "x-6" x-y光栅激光干涉仪将激光干涉仪与滞后型线性级相结合，可以产生精确的图像。激光束的加热系统与一个更大的镜子一起，确保更紧密的对准，从而确保较低的对准误差。直观的图形用户界面支持其他语言,使用户能够快速轻松地获得高质量的结果。此外,还包括一些安全功能,如可锁定显示器和紧急停止。BROOKS 002-7391-08掩模对准器是精密精密的光掩模图样和微电子制造的一个极好的选择，方便可靠。