二手 CANON 501 F #68942 待售

CANON 501 F是一种用于制造集成电路的自动掩模对准器，用于将光掩模的图样与光刻涂层晶片或其他基板的图样精确对齐。对准器能够将掩模正确定位到几纳米的精度。501 F能够将掩模和晶片定位在X和Y轴上。真空框架将晶片固定在适当的位置，因为它是由三个微电子平移的，这些微电子可以在X和Y方向上移动，并借助跟踪运动的编码器。对于不同的对准过程和不同的运动范围，可以对三个电动机进行外部控制。为了精确地对准掩模和晶片,使用激光计算与基板表面标记的距离。激光放置在基板上并投射到掩模上，以测量距离并计算对齐值。CANON 501 F的另一个特点是能够使用反馈过程进行精确的对齐调整。501 F具有内置的气动快门，以保护面罩和晶片免受尘埃颗粒和其他污染物的侵袭。气动快门全自动，可快速开闭。该机还配备了UV照明灯，用于检查对准的质量。板载监视器允许操作员检查对齐结果。CANON 501 F配备了二维电机控制设备，允许掩模和晶圆高速对准。电机控制系统准确,响应时间快.该设备还能够执行定位可重复性,以实现紧密对齐公差。该机还能够进行连续对准，以确保整个过程的对准精度。501 F用于金属层、多晶硅层和IC中使用的其他层的口罩对齐。该机用于芯片的制造，如应用处理器、内存芯片和显示控制器。