二手 CANON FLAG-1500 #9161633 待售

CANON FLAG-1500是一种面罩对齐器，旨在产生金属、材料和器件的微米级图桉。它能够处理大开口和非平坦表面的基板,并为200 mm晶圆提供1.5 μ m或更高的掩模配准精度。它支持非接触式边对准和间隔器边对准,用于门阵列技术,精度为0.1 μ m或更高。FLAG-1500是一个全自动面罩对齐器，重点提供平稳可靠的操作。由EGA 5kW CANON E精工Shot提供动力，可以蚀刻金属、硅和玻璃口罩。蒙版的最大尺寸为880mm x 880mm,适用于所有应用程序。它还配备了266mm激光晶片对准系统、自动E光束抵抗涂层、TMA（横向磁性对准）框架以及用于对准的OBIRCH边缘对准器。此对齐器提供了多种功能,包括能够快速准确地测量晶圆的轮廓模式。它还能够精确驱动大小图桉，并提供高速测量能力。此外,CANON FLAG-1500提供了一个用户友好的界面,并且可以自动存储注册点,以确保快速重新校准。它还可以在三个维度上精确测量工件的平整度。FLAG-1500符合SEMI和CE等国际标准。它还包括各种先进的安全和环境特征，包括尘埃过滤系统和灭火系统。它能够在恶劣的工业环境中运行，并且可以连续运行长达12小时。总之,CANON FLAG-1500是一种高效可靠的掩码对齐器,具有多种功能和特点。它配备了多种安全和环境特性以及用户友好的界面和快速的重新校准能力。这台机器非常适合处理各种各样的晶片和材料，以及提供精确的对齐模式低至1.5 μ米或更好。