二手 CANON MPA 3000W #9196898 待售

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製造商
CANON
模型
MPA 3000W
ID: 9196898
晶圆大小: 2"
优质的: 1999
Mask aligner, 2" Glass size: 370 x 470 mm CM Box CF Box Console box Blow lonizer set Duct set 1999 vintage.
CANON MPA 3000W Mask Aligner是为生产半导体器件而设计的高精度、先进的器件。它能够进行精确到亚微米水平的曝光过程。兼容6英寸和8英寸晶圆尺寸,机器的最大铅框数为一千个,对准精度为2至8微米。该机具有最先进的设计,效率高,产生较快的循环时间。配备了位置和位移节点兼备的高速机械标记设备。曝光系统由全远心光学和半导体激光器组成。要曝光的物体放置在一个X-Y定位器上,将一个标线罩放置在光学单元中,使标线上的微米图样与晶圆上相应的图样对齐。CANON MPA-3000 W还具有几个功能,旨在帮助实现性能最大化和提高准确性。其中包括允许用户编程晶圆和标线坐标的触摸屏控制,以及可编程曝光角度。晶片级设有开放式封闭式支撑机,确保表面观察稳定,改善晶片气流。扫描仪支撑有一个独立的真空控制工具,引导扫描机构,包含一个可调的间距。此外,MPA 3000W有一个温度控制的气体循环室,旨在最大限度地减少温度变化的影响,并在整个暴露过程中保持一致的气氛。相机资产采用可编程快门模型和直接图像数据传输功能,允许用户在继续曝光过程前验证对齐结果。总体而言,MPA-3000 W Mask Aligner是一种具有惊人功能和可靠性的技术设备。其循环时间快、精度高达亚微米级,是先进半导体器件生产的理想选择。其众多的特性和功能帮助它满足各种研究和生产需求,让用户总能取得最佳的结果。
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