二手 CANON MPA 3000W #9393325 待售

CANON MPA 3000W Mask Aligner是一种中型专业光刻设备，设计用于制造高质量的半导体。该系统采用接触对准方法进行精确的掩模到晶圆对准，以达到高精度和分辨率。CANON MPA-3000 W Mask Aligner具有较大的曝光表面积,可用于大晶圆加工,并在整个表面均匀曝光。该单元配备6英寸主对准方法，采用0.5微米分辨率，能够提供不到1微米的精度。它还具有一个自动销钉位置检测器，用于测量销钉位置并计算任何需要的校正，以确保适当的晶圆定位。0.1微米分辨率的3英寸CCD相机在制造半导体器件时能够与所需的掩模图桉对齐。MPA 3000W Mask Aligner也有一个自动显微镜照明机，使检查曝光模式更加准确。它配有可编程干涉仪工具，在曝光前检查对准的稳定性。高分辨率曝光监视器监控曝光剂量和时间。该资产还具有高速空气轴承级,可加快晶圆交换速度,从而缩短循环时间并提高吞吐量。MPA-3000 W Mask Aligner是一种多用途、经济实惠的平版印刷模型,它提供了完全的设备集成能力,可实现薄膜曝光和对准。它具有方便用户的设计和易于使用的控制，使设备的设置和操作变得简单明了。其先进的特点使其适合研究和工业用途。