二手 CANON MPA 500 Fab #293652734 待售

CANON MPA 500 Fab是一款最先进的口罩对准器，旨在使半导体工业中的高品质器件得以生产。这款蒙版对准器使用5英寸视野和5轴电机驱动设备，以高精度和生产率将图样从光掩模精确传输到晶片。CANON MPA 500FAB能够运行从简单光刻到高端湿蚀刻应用的各种过程。它可以为原型制作和生产操作客户提供服务。它提供了广泛的基材尺寸,直径从200毫米到4英寸的晶圆等,从而实现了高质量设备（如内存和逻辑）的对齐。该工具还利用多方向光束来确保覆盖掩模场的均匀曝光强度。MPA-500FAB还具有专用的激光引导对准系统，可自动对准掩模和晶片。该单元提供0.3微米的分辨率和1毫拉的精度，使其能够生产高产设备。发射源经过高度优化，即使在曝光设置发生变化的情况下，也能在晶圆上产生稳定和均匀的模式。CANON MPA-500FAB满足严格的环境要求,可用于湿式或清洁室制造,具体取决于设备的类型。它还提供多种安全功能,例如启用传感器的安全套、门锁和用户/教学界面。通过使用先进的自动自我诊断机器,维护也变得容易得多,这种机器可以在操作员导致生产停机之前提醒操作员注意任何潜在的问题。总之,CANON MPA 500-FAB的设计具有极高的准确性和生产率,并提供了广泛的功能,可同时为原型设计和生产客户提供服务。它是为满足各种环境要求而建造的,例如洁净室和湿蚀生产,并具有多种安全功能,包括自我诊断工具和激光引导对准资产等功能,以确保生产过程的最高产量。