二手 CANON MPA 500 Fab #293820815 待售

CANON MPA 500 Fab是用于光刻的最先进的面膜对齐器。它是一种精密的工具，能够通过光刻涂层、图桉掩模对准和光刻工艺对半导体电路组件进行快速原型设计。该工具能够以纳米精度将图样投影到晶圆上。CANON MPA 500FAB采用可变喷涂涂层（VSC）技术,可实现高均匀性、低缺陷率的高质量光敏涂层。这种涂层技术还允许高分辨率对齐具有多种蒙版形状和尺寸的图桉蒙版。这台机器配备了独特的三维（3D）对准系统，采用红外激光来检测图桉掩模的位置，确保光刻过程中的纳米级精度。MPA-500FAB还包括若干安全机制，如安全快门、内置安全联锁装置和臭氧消除面罩对接装置。此外，这台机器的设计目的是尽量减少人为干预，从而消除人为错误的可能性。MPA 500-FAB具有处理各种掩码尺寸和长宽比的能力,范围从1：1到16：1。另外，它与多种类型的光敏材料，如负性和正性光敏材料，以及单层和多层抗蚀剂兼容。该工具还能够支持阵列掩蔽晶片的垂直和水平对齐模式。CANON MPA 500-FAB是一种高效、精密的机器，非常适合半导体器件制造工艺和硅片制图等多种应用。CANON MPA-500FAB具有独特的VSC涂层技术、三维对准系统和最小干预设计,是一种先进可靠的掩模对准器,能够生产高质量的半导体器件。