二手 CANON MPA 500 Fab #9144945 待售

CANON MPA 500 Fab是一款先进的蒙版对准器，提供光敏抗蚀剂的质量和可重复接触打印。这种设备提供了最先进的光刻处理技术，允许将图样从面罩转移到基板上。CANON MPA 500FAB的关键特点包括高速、高精度多像素厚度运动单元、自动校正冷弧成像系统、接触打印精确对准、人体工程学基板对准、与各种抗蚀剂兼容等。此外,此掩码对齐器还提供了流程集成和精细的功能对齐、自动电气测试打印、减少图层之间的错位以及易于使用的用户界面。MPA-500FAB设计用于高级接触打印任务和精细间距对齐。CANON MPA 500-FAB具有5微米的分辨率和能够以千分之一像素的间隔移动基板的运动单元,为生产阶段接触打印提供了卓越的精度。符合人体工程学的基板对准设计可以使基板快速精确对准，减少生产时间，同时保持高精度。基板对齐单元可以使用坐标对基板位置进行参数控制,从而实现接触打印的自动精细和粗细间距对齐。MPA 500 Fab提供与各种抗蚀剂的兼容性，包括光致抗蚀剂、无有机树脂和导电氧化物，以及玻璃、石英和Si晶片等各种基材。该机器使用多种掩码技术（如二进制、衰减梯形和反模拟）实现精确的模式传输。CANON MPA-500FAB还配备了先进的自动校正冷弧成像工具,可帮助实现高分辨率成像,获得优良的特征分辨率。这种成像资产可用于接触印刷以及直接成像，以产生各种基板上的细纹。自动校正的冷弧成像模型保证了均匀的照明，提高了图样的直线性。此外,MPA 500FAB包括集成的过程控制和传感器诊断,从而实现高效的生产过程管理。这些设备功能提供了一致且可重复的特征对齐方式,且精度很高。MPA 500-FAB旨在为高级电子设备制造任务提供卓越的质量、可重复和精确的接触打印。该系统提供了多种优点,包括增强的工艺集成和精细的特性对齐、自动电气测试打印以及与一系列抗蚀剂材料和基板的兼容性。