二手 CANON MPA 500 Fab #9214610 待售

CANON MPA 500 Fab是一款全自动蒙版对准器，利用先进技术实现了光掩码的精确放置和对准。CANON MPA 500FAB有助于最小化对准误差,使其非常适合制造用于高端平板显示器和半导体工艺的光掩模。该机器提供快速、高精度的光掩模图样对准,包括高光学分辨率的精确对准。MPA-500FAB采用4场步进电动机,可精确对准阵列。电机提供快速、精确的图桉对准，特征尺寸为1 µm。细节调制允许进一步优化，以达到小于1 µm的特征大小。对准精度低于0.5µm，这是由独特的自动对准设备增强的。MPA 500 Fab具有良好的图样放置精度和图样跟踪精度,具有可调的光束电流,以及出色的曝光均匀性。它可用于大多数衍射基板上的图样放置和对准，包括石英和硅，使其成为广泛应用的理想选择。图像分析系统也可用于自动检测和测量对齐的模式。这样可以确保在长期运行中的顶级性能和可重复性。CANON MPA 500-FAB包括一个计算机接口,可用于数据输入和模式检索。这允许用户为任何作业创建一系列模式,并使用易于使用的程序对其进行控制。计算机还提供了一个直观的图形用户界面，用于编辑和创建模式对齐，以及自定义机器设置和参数。MPA 500-FAB还提供出色的暗场和明场成像和精度，以及内置卤素灯，可以产生从紫外线到红外波长的广谱光。本机可配备可调节工作距离、激光自动对焦和自动定心的光学装置。总体而言,CANON MPA-500FAB是一种全面且用户友好的掩码对齐器,可产生高质量和精确的模式对齐。MPA 500FAB具有高精度的激光对准机、可调参数和广泛的成像机制，能够有效地处理任何工作，方便地满足用户的需求。