二手 CANON MPA 500 Fab #9291905 待售

CANON MPA 500 Fab是一种用于芯片制造和纳米技术行业光刻工艺的掩模对齐器。CANON MPA 500FAB基于CANON原始的可扩展多投影对齐技术，分辨率为1微米，能够覆盖芯片尺寸高达6英寸的晶圆。它采用了经过重新设计的对准设备，为用户提供了更高的精度，具有高精度的线性导引系统和减少热膨胀的真空中心对准技术。该设备具有卓越的精度范围,其X轴和Y轴的2D对准精度均在0.1-0.2微米范围内。MPA-500FAB使用具有多个光源的紫外线曝光技术，以便将图样投射到芯片表面上，从而根据需要创建所需的线宽和细节。它还具有优化的投影单元,可提高对准精度并减少正确对准图像所需的时间,并具有自动对焦能力和激光对准支持。此外，该装置还包括一台强大的电机驱动机，有助于在纳米技术生产过程中实现更高的精度和可重复性。通过实时在线监控对齐过程以及允许打印和掩蔽过程高精度的曝光控制功能等功能,进一步增强了设备。它还具有适应性强的光源输出,以增加更高的吞吐量和与所需产品制造过程的兼容性。CANON MPA-500FAB的设计满足了各种高精度纳米技术生产工艺的最高要求。它具有高精度的对准精度、先进的技术范围以及适应性强的输出，是需要最高精度和输出水平的批量生产工艺的理想解决方桉。