二手 CANON MPA 500 Fab #9373199 待售

CANON MPA 500 Fab是一种能够产生高保真度和高精度光刻工艺的掩模对齐器。它具有最先进的光学对准技术，能够达到20 µm的定位精度，对准时间为8秒。其数字信号处理技术实现了X轴和Y轴方向0.5 µm重复性的极致对准精度。设备配备先进的多镜头成像系统和显微镜目标，在最坏的情况下实现+/-3 µm芯片对准精度。它旨在最大程度地减少掩模图像的失真,从而允许掩模和芯片之间的不同旋转曝光配置,以实现均匀分布的曝光可重复性。该单元还设计用于通过在每次曝光后重置对齐方式,最大程度地减少可能导致蒙版图桉像差的累积误差。CANON MPA 500FAB利用内置的曝光数据库,允许最多20个可编程曝光参数和曝光持续时间,提供高吞吐量和可重复的对齐结果。其用户友好的图形界面提供即时反馈，同时允许对齐过程的快速编程。该机具有离线对准和离轴照明工具,用于模模或非穿孔设备对准。它配有大型显示屏和符合人体工程学的面板,便于操作。该资产包括一个微控制器，该微控制器包含标准的非易失性内存，最多可存储10张照片和60张对准。MPA-500FAB支持从25毫米到200毫米的各种晶圆尺寸。该模型采用现代时尚设计,采用集成式粉尘管理设备。总体而言,CANON MPA-500FAB是光刻工艺的可靠、易于使用和直观的解决方桉,性能和准确性都很高。它提供了多功能性、速度和效率，满足了现代芯片行业的挑战需求。