二手 CANON MPA 500 Fab #9410722 待售
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ID: 9410722
晶圆大小: 5"
优质的: 1996
Mask aligner, 5"
Control box
Lamp power supply
Missing parts:
CTC Unit
Conduit
1996 vintage.
CANON MPA 500 Fab是用于集成电路（IC）晶片制造的先进掩模对准器。该设备采用了精确、自动化的对准工艺，减轻了人工对准光掩模和IC晶片的需要。CANON MPA 500FAB使用高分辨率视频检查设备和非接触式位移检测系统，以确保可见标记的精确对齐和精确的模式边界。掩模对准器设计用于在对准和光刻过程中保持晶圆的平整度。该装置还具有精确的光束扫描和定位装置，为精确覆盖能力提供了平稳过渡。MPA-500FAB配备了一个高精度的舞台，提供快速的扫描速度和准确的定位。此外，该装置采用高精度聚焦伺服机，使光束聚焦在正确的图样区域，结果非常精确。掩模对准器配有CCD成像工具和多波长照明资产，便于无缝层对准。此外,该设备能够曝光多达100 nm的线条和空间图桉,最大曝光面积为200 mm x 200 mm。为确保快速、准确和精确的曝光精度,该设备包括多区域曝光控制模型和高分辨率自动校正设备。CANON MPA 500-FAB能够以高吞吐量级别运行,吞吐量为每小时120个晶圆。该装置能够在一个周期内完成多次曝光过程，适合大批量生产。该设备仅需要最低限度的维护,利用简单的用户界面,并符合ANSI安全标准以实现长期可靠性。
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