二手 CANON MPA 500 #293625655 待售

CANON MPA 500掩模对准器是一种先进的光刻工具，使制造商能够创建高精度的集成电路和其他具有亚微米特征尺寸的光电器件。设备配备了极其精确的6轴机械臂，能够将光掩模定位在晶圆上，其精度水平远低于常规光学光刻的极限。此外，系统还提供了广泛的增强功能，如检查、精确对准、注册和轮廓校正。MPA 500的设计符合半导体工业对制造高性能集成电路的光刻工艺规定的紧密公差。该单元的定位精度为+/-10微米，并使光掩模与晶圆平面对准。这种高精度是通过机器使用双激光束进行对准而实现的。这确保了光掩模的所有特征都以尽可能高的精度精确定位在晶片平面上。该工具还设计用于快速更改掩码,这意味着可以快速轻松地完成对齐。这在通常需要大批量处理的制造环境中至关重要。该资产还包括用于确保所有成像准确的高质量数码相机模型。这样可以确保执行所有制造过程而不会出现任何错误。CANON MPA 500具有高度的灵活性,因为它可以支持各种光掩模尺寸。该设备还与包括紫外线、可见和近红外在内的一系列光刻胶类型兼容。这样可以确保系统可用于各种不同的用途。除了制造能力外，MPA 500还提供多项数据管理和分析功能。这包括一系列软件包,这些软件包可用于监视设备的性能并自动执行图像处理和对齐等任务。这有助于简化生产过程,从而显着提高效率。总体而言，CANON MPA 500是一款经过专门设计以满足半导体行业需求的先进掩模对齐器。其精密对准和全面的特性使其成为寻求生产高质量集成电路和光电器件的企业的理想解决方桉。