二手 CANON MPA 500 #9275353 待售

CANON MPA 500
製造商
CANON
模型
MPA 500
ID: 9275353
Mask aligner Type: Fab.
CANON MPA 500 Mask Aligner是一种工业级光刻设备,用于制造精密微电子元件。它是可用的最精确、用途最广泛的掩码对齐器,可提供最高的分辨率、准确性和性能。MPA 500配备了先进的多点对准检测系统,并预配置了广泛的高精度测量工具,以确保掩模在晶圆上的最佳定位。该单元可支持直径最大为8英寸的晶片,以及最多两种不同的掩模尺寸。CANON MPA 500具有高效的真空功能,即使在处理大型口罩时也能安全地、一致地握住口罩。该机器具有内置激光对准功能,可精确地将掩模放置在晶片上。MPA 500除了具有高精度的对准能力外,还提供高分辨率的紫外线曝光和口罩的高速发展。CANON MPA 500能够精确调整覆盖公差,适合要求很高的微电子应用。MPA 500的高级设计提供了对暴露参数的精确控制,从而可以轻松获得精确的暴露参数。它还配备了精密精确过程控制的多项相关功能,包括全均匀爆裂级控制、精确最大曝光计时器,以及用于精确对准的多点扫描工具。此外,该资产还提供了与各种工艺材料的兼容性,如熔融玻璃、热成像和蚀刻硅。CANON MPA 500还提供高级缺陷检测功能。其缺陷列表包含超过1000个预定义的缺陷标志,可以广泛定制以适应用户的需求。该模型还包括一个先进的晶片网分析模块和一个对准设备,用于检测和识别晶片上的缺陷。它可以分析安装状态和卸载状态下的缺陷。在安全性方面,MPA 500配备了一系列安全功能,如钥匙锁系统、防静电窗帘、光压传感器、烟雾过滤单元等。它还包括一系列降低设备损坏风险的组件,包括除尘器、地面故障中断器和脉冲传感器。总体而言,佳能MPA 500在为微电子应用提供最佳效果方面是无与伦比的。
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