二手 CANON MPA 500FA #293592855 待售
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ID: 293592855
晶圆大小: 5"
优质的: 1982
Aligner, 5"
(2) Accessories packing
Lamp power supply
Missing parts:
CTR Box
Conversion kit
Generator
Air press unit
1982 vintage.
CANON MPA 500FA Mask Aligner是一种用于准确管理微观图样从模具（或mask）转移到指定基板上的设备。它是制造微电子元件和器件以及生产光子和微机械结构的必要设备。CANON MPA-500FA可提供快速、高精度的掩码对齐方式,同时具有固定和可变步长以及XY和XY Θ对齐方式。它还集成了获得专利的Auto Align和Auto MOVE功能,以实现快速可靠的对齐。MPA 500 FA使用电荷耦合器件（CCD）.它还具有一个设计先进的冷却系统,可帮助减少热漂移和手动步骤预先对准的需要。设计具有先进的过滤和流刺消除功能，可减少掩蔽表面的颗粒污染。MPA-500FA具有灵敏的晶片级，行程为15mm x 15mm，使用PSD的可靠距离测量系统（DMS）为+/-0.02 µm。其舞台速度为50mm/s,图桉尺寸范围为1mm至20mm,最小图桉步长为0.05mm,在整个舞台和掩模对准过程中提供更高的精度。此外,CANON MPA 500 FA还配备了各种对齐模式,以支持一系列紧密间隔的模式、精细模式甚至超精细模式。它还提供了许多曝光模式，包括直接双距离（D2D）、双曝光（DE）和单曝光（SE）。MPA 500FA提供了有效、敏捷的对齐方式,以忠实地传递和重现您的设计模式。它可靠、高效、经济实惠，非常适合生产大型和低成本的纳米和微米级器件。
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