二手 CANON MPA 500FA #293592857 待售
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ID: 293592857
晶圆大小: 5"
优质的: 1983
Aligner, 5"
Conversion kit
CTR Box
(2) Accessories packing
Lamp power supply
Missing:
Generator
Air press unit
1983 vintage.
CANON MPA 500FA是一种先进的全场掩模对齐器，为光电、MEM和ASIC等不同领域提供精确的光刻能力。这种最先进的设备能够在整个基板表面稳定地暴露紫外线。CANON MPA-500FA提供了卓越的曝光精度,均匀度±为0.5 mJ/cm2,对齐时具有极好的可重复性。高级自动打印功能会自动调整打印模式以适应基板尺寸,从而提高生产率。快速调整功能允许快速轻松地更改曝光设置。内置的图像库还允许同时曝光多个基板，最大限度地提高成本效益。先进的X-Y级设备提高了对齐精度，减少了对齐的风险。这导致了一个极精确的过程，产量高。MPA 500 FA具有高分辨率成像系统,可在整个基板上提供均匀曝光。该装置能够以较高的夹紧精度处理200毫米以下的基板，并通过主动减振机减少震动。内置的安全工具提供了防止过度暴露和氧化的保护。面罩对齐器还配备了一个触摸面板，允许直观操作与直接读取刻度。MPA 500FA还提供高效空气过滤器和排气系统的环境保护。大功率卤化物灯保证了稳定的照明和均匀性，而大功率紫外线固化方法缩短了固化时间，增加了吞吐量。CANON MPA 500 FA是研究和生产应用的理想蒙版对齐器，使用户能够实现高速、精确的打印。该设备与广泛的基板兼容，如蓝宝石硅、硅、蓝宝石和玻璃块。
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