二手 CANON MPA 500FA #293819197 待售

CANON MPA 500FA是一种全自动的掩模对齐器，执行精确精确的晶圆对齐。它旨在满足半导体器件生产中光刻工艺的要求。这款对准器配备了最新的高精度光学系统，提供高精度、卓越的吞吐量和可靠的对准。CANON MPA-500FA具有独立的大型平面视场（FOV）,可提高对齐精度和吞吐量。标线和晶片级提供了极好的可重复性，提供了极低的晶片到晶片的变化，并为高精度的设备制造提供了可靠的操作。它针对包括粘合晶片在内的一系列基材进行了优化，是一种特别适合用于涉及多种模式迭加和高分辨率应用的服务的工具。此蒙版对齐器使用三步对齐过程进行蒙版配准。该系统测量掩模和晶片上的数值目标图样，然后执行多帧图像采集过程来迭加图样。最后,利用全局搜索算法实现模式相关性的最大化,以实现准确的定位.结果提高了对齐精度，实现了较高的吞吐量率。此外，MPA 500 FA还提供了一整套高效操作的工具，如边缘识别、晶圆和掩码参考以及自动对焦调整。这些功能有助于简化机器的设置过程,并确保机器能够可靠地工作以实现所需的对齐方式。自动聚焦调整能够快速、轻松地进行调整,以适应基板模式或环境条件的变化。总体而言,CANON MPA 500 FA是一款极好的自动掩码对齐器,具有很高的准确性和高吞吐量。先进的光学系统、多帧图像采集过程以及其他几个特点，使其能够实现高度的精度和可靠性。这种通用工具适用于半导体生产中的各种光刻工艺。