二手 CANON MPA 500FA #293821331 待售

CANON MPA 500FA是一种高性能、多防毒面膜对准器，适用于先进、大容量的光掩模生产、研发和成像应用。其主要特点包括50 mm x 50 mm至500 mm x 500 mm用户可选的布局尺寸，最大晶圆尺寸为200 mm，复杂物体最高三维配准，以及自动对焦框架配准，以更好的对准精度。它还具有一个模式抓取器,可更快地配置较大区域,并具有自动更换样本的机制,从而提高吞吐量。其高精度多轴级使步进器能够同时控制特征间距、迭加精度和回撤精度。它可以处理1.5-μ m像素大小,并为相同的帧提供1500晶圆/小时的高吞吐量。此外,它还提供高精度的阶段对准,可确保1 µm内的可重复性和0.3 µm内的参考系定位精度。CANON MPA-500FA也被设计为减少颗粒降解和增加清洁度。这是通过自支撑型材设计实现的，该设计将基板和光掩模组件彼此隔离。此外，模式扫描仪浸入液体中的微气泡保持了模式的完整性，减少了扫描结果的潜在失真。MPA 500 FA使用CANON专有的CANON GIM （Gene Image Metrology）软件,该软件提供独特的软件体系结构,以提高对准精度、吞吐量速度和测量精度。此软件具有内置的综合图像处理库,可监视数百个缺陷并提供强大的模式识别功能以进行注册。总体而言,MPA 500FA掩模对准器专为晶圆规模的生产和开发项目而设计,提供卓越的精确对准精度、更高的吞吐量速度和更好的测量精度。这使得它成为先进、大批量光掩模生产和研发应用的理想选择。