二手 CANON MPA 500FA #9226311 待售

CANON MPA 500FA是一种最先进的口罩对准器，设计用于在各种基板上进行高精度光刻。该设备利用了平面内对准技术、高速28 nm步长分辨率和晶圆厚度测量系统等几个独特功能。CANON MPA-500FA的主要部件是对齐板，负责协调口罩的定位和定向。该板采用平面内对准技术设计，可实现极好的对准精度和较短的对准时间。该板使用四个棱柱形柱子，以确保晶圆腔内的精确定位。提供了一个居中旋钮,以提高在两个柱子之间定位掩模的精度。MPA 500 FA还包括一个晶圆厚度传感器，用于测量基板的精确厚度。传感器安装在对准板上,可用于准确补偿基板中可能影响图像清晰度的任何不规则性。此外,该单元还提供内置的注册校正模式和允许调整掩码对齐的双点注册模式。MPA 500FA还包括一台先进的光刻机，具有高速28 nm步长分辨率和高效激光阵列模块。先进的光刻工具还配备了高精度矢量发生器和波前识别资产，用于生产比传统光刻系统更平滑的较小结构。CANON MPA 500 FA提供各种光学系统，可以定制以满足用户的需求。其中包括可用于接触或接近曝光的反射光学和透射光学。这些光学器件被设计成能够产生精确度、分辨率和保真度的图像。MPA-500FA还包括一个高精度的微型步进电机和变速箱，它提供精确和可靠的步进。可以使用可选显微镜查看阶梯式图像,该显微镜提供了扩展的视野。该模型还配备了计算机辅助对准设备，用于多层之间的精确定位。总体而言,CANON MPA 500FA为用户提供了一个高级掩码对准器,它结合了高精度光刻、平面内对准技术、晶圆厚度测量系统和各种光学器件来定制用户的需求。该单元非常适合生产半导体器件和纳米制造部件的高分辨率图像。