二手 CANON MPA 500FA #9226333 待售

CANON MPA 500FA是一种用于大规模生产半导体器件制造的掩模对准器.它是一种全自动设备,旨在提供高水平的过程准确性和吞吐量。CANON MPA-500FA是基于四点曝光系统设计的，使用的是氙灯。曝光单元使用两个红宝石增强石英卤素灯进行均匀照明，并使用两个电动光学除斑系统进行高速对准。该机每批最多可处理五个1x1或四个4x4晶片，并配有高速转动的索引器和10秒的重置时间。MPA 500 FA配有高速模式识别工具和图像处理算法，用于晶片与纳米尺度迭加的对齐。晶圆对准是通过扫描配备数字阴影掩码处理器的线性CCD阵列来实现的。该处理器负责检测和识别对齐标记,并能够校正每个晶片结构的微小变化。此外，MPA-500FA还配备了8位自动聚焦资产，可以在迭加测量中获得很高的精确度。CANON MPA 500 FA提供出色的迭加精度，高达0.53微米，波长85nm，并具有产生可重复曝光特性的自动化过程控制模型。该设备支持一系列过程，包括接触、投影和扫描电子束光刻。使用扫描仪板,每个工艺最多可容纳十层透明薄膜或薄膜。MPA 500FA与大多数标准曝光材料兼容,可在高达105 °C的温度下工作。CANON MPA 500FA是用于批量生产半导体器件的经济解决方桉,可轻松与现有生产系统集成。该系统提供高效可靠的性能，可以根据设备制造的特定要求进行定制。直观的用户界面和强大的功能使其成为制造高精度光学元件的理想选择。