二手 CANON MPA 600 FA #293606919 待售

CANON MPA 600 FA
製造商
CANON
模型
MPA 600 FA
ID: 293606919
Mask aligner.
CANON MPA 600 FA是一种掩模对齐器,能够将物理图样高效准确地转移到基板上。在IC和薄膜结构的制造过程中,这种装置对于高效的光刻工艺至关重要。CANON MPA600FA使用光、光学接近校正(OPC)算法和生产晶圆级的组合来操作。首先,光源被设计为彻底和均匀地将抗蚀膜暴露在所需的图桉尺寸。在此步骤之后,使用OPC算法来补偿所需设计与实际模式之间的任何差异。最后,生产晶片级提供了一个精确的运动来创建所需的模式.MPA-600FA是一种易于使用和可靠的设备,非常适合先进的加工技术。该设备采用了最新的现代工程技术,包括触摸屏显示器、多掩码、晶圆映射以及高级OPC软件。这使得每次曝光都能有准确、高效的模式,而且用户设置极少。从性能角度来看,CANON MPA 600FA提供0.25微米分辨率的卓越分辨率,并具有8 "x 8"的标准掩模尺寸。吞吐量因高速40 msec曝光时间而相当可观。此外,该设备的设计考虑到了用户的各种便利,例如自动真空保持系统、自动安全检查和远程控制。为了减少维护,MPA-600 FA还提供了一个易于维护的快门单元,其设计可持续多年。最后,机器允许在任何时候轻松升级相机机器,以确保最高的吞吐量。总体而言,MPA 600 FA是一款先进的掩码对齐器,提供卓越的性能,同时还提供一系列方便功能,旨在使光刻工艺高效且易于使用。
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