二手 CANON MPA 600 FA #293609496 待售

CANON MPA 600 FA是一种全自动步进扫描仪对准器，用于半导体器件制造的光刻工艺。它是一种掩模对齐器，可以将一个在光掩模上定义的图桉精确对齐到一个曝光的光刻涂层晶片上。这是通过将图样从掩模投影到覆盖有光刻胶的晶片上，然后将图像传输到晶片上来完成的。CANON MPA600FA具有智能双区域扫描系统,可精确定位和对准,非常适合精确的半导体器件制造应用。它具有基于LED的光源,为增强设计分辨率和图案保真度提供了卓越的亮度水平。内置的自动检查功能允许自动检测最佳对齐位置。机器的定义特征包括其高吞吐量、精度和定位精度。MPA-600FA具有± μ 6米激光对准精度，具有精确的对准能力。此外，该系统还支持各种基材，如玻璃、硅片和石英基材。内置的自动检查功能允许在扫描大型基板时检测缺陷和小粒度。系统可以加工8英寸至12英寸直径的基板，无需任何调整。此外，CANON MPA-600FA有一个光机械封装，能够通过激光干涉测量精细对准，提供精确的掩模到晶圆覆盖对准。它还具有数字联网功能，允许对机器进行远程控制。此外,它还支持基于CAD的数据输入,用于掩码制造和设计验证。该机器已准备就绪,可在ATE和对齐器之间提供集成控制。总体而言,CANON MPA600-FA是可靠、精确的半导体器件制造的理想掩模对准器.凭借其广泛的特性、灵活的基板支撑和精确度，它为制造商提供了一致而精确的结果。