二手 CANON MPA 600 FA #293625511 待售

CANON MPA 600 FA是一种高性能的掩模对准设备，设计用于执行半导体器件制造中使用的图样化过程。该系统具有自动、高速和高精度的切割面罩配准机构。该装置采用空气轴承安装级、激光干涉仪以及同时控制XY和旋转轴的闭环伺服定位和对准的组合。CANON MPA600FA机具有高精度的精确度和可重复性的模式对准和允许独立垂直移动的舞台，使其易于处理探针，针脚和其他模式工具。该工具还具有高分辨率和高对比度的图像处理资产，使其能够准确检测和测量模式中的元素。其先进的光学模型采用6倍F-Theta透镜，提供高质量的成像，确保光掩模的精确边缘对准。该设备采用空气轴承安装级，提供平滑和低振动级运动，以确保高度精确的对准和打印性能。它还便于维护,并提供长期的可靠性和环境鲁棒性。该系统可确保在基板上精确放置图样,位置精度为0.5µm。MPA-600FA单元还提供各种高端自动化功能,如口罩制造、图样制作、溅射沉积、光刻涂层和蚀刻工艺。这台机器还提供了快速Aligner™功能,能够在几秒钟内快速检测和纠正任何模式的错误,从而获得快速而准确的结果。此外,CANON MPA 600FA提供了广泛的软件选项和功能,以支持自动化和统一的过程控制。它具有直观的软件界面，便于工具设置和编程，还可以与现有的软硬件系统集成，便于集成和操作。CANON CANON MPA-600FA资产旨在实现快速、准确和可重复的光掩模对准,并实现稳定的生产性能。适用于多种电子和光电应用，是一种可靠、强大的掩模对准模型解决方桉。