二手 CANON MPA 600 FA #9016131 待售
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已售出
ID: 9016131
晶圆大小: 6"
Aligner, 6"
Oscilloscope: TEKTRONIX TDS 3012 (Auto alignment signals)
IUC Meter: IUC- M3S
Double / Single indexer
Scan motor
Auto hand turn (unlock like turn table)
LED:
For flat finder with high bearing, 6”
Observation light in alignment scope
Extension cable:
Automatic alignment PCB: 4 x 60 pin
PCB 17 / 18: 2 x 50 pin
Camera / Monitor observation system
Laser adjustment tool
(4) Spare foots
Tube for fill cushion foot
Lamp
Vacuum pump
(2) BD0-5200
BD1-3294
(2) CTC / TDC
(2) Long cables with sensor
Cover with powder coating
Light condition:
Input: 1800 W
Output: 700 mW / cm2 for 1.6 mm slit
Manual included.
CANON MPA 600 FA面膜对准器是利用光刻技术制造产品的重要工具。它是一种全自动机器,专为大批量生产而设计,能够异常精确的图桉。该装置采用真空卡盘和抗涂层技术相结合的方式,在各种基板上排列、转移和发展微观图样特征。该设备同时配备了自动面罩对准系统和智能视觉单元。对准机使用激光定位传感器,准确定位基板上的对准标记,实现了掩模与层之间的精确配准。视觉工具用于检测基板缺陷,识别存在于基板上的框架和层数,并计算对齐参数。CANON MPA600FA是一种模块化资产,能够同时处理多个基板和掩码。该模型能够处理各种尺寸从微米到毫米不等的阵列几何形状。MPA-600FA能够实现分辨率为≤ 8 µm、图样偏差≤ 5 µm的高精度图样。该设备采用坚固耐用的涂层技术,能够轻松复制最具挑战性的图桉。CANON MPA600-FA利用先进的光学对准技术来优化曝光精度并确保统一的结果。该机配有真空卡盘,可在基板加载过程中牢固地固定基板,抵抗施加和暴露后过程。MPA600-FA还支持各种抗蚀剂材料,将光学和物理特性结合起来,以获得最佳效果。佳能MPA 600FA具有快速处理大批量生产口罩的能力,可显着缩短光刻周期。此外,系统能够离线运行,允许用户一次完成多个生产操作,从而实现更高的收益率。佳能MPA-600FA是满足大批量生产要求的理想工具。它兼具先进的特点和可靠的性能,是光刻和微加工生产的绝佳选择。该单元使用简单,其闭环自动对准使用户能够以最小的操作员输入达到精确的结果。MPA 600FA具有很高的可靠性和高效率,是光刻和微加工应用领域中最佳的掩模对准器。
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