二手 CANON MPA 600 FA #9058852 待售

CANON MPA 600 FA是一种自动的全晶圆掩模对齐器。它是先进的电子设备制造商用来将模式从模板传输到基板或设备表面的工具。该对齐器设计用于大面积的精度和精确度，是现代半导体生产的理想选择。设备配备600mm（23.62"）的大光刻面积和10纳米（nm）的分辨率。它具有提高的波长248nm和248nm的模式曝光和对准精度。其专利的"自动对齐"系统确保基板和模板在其掩模阶段的快速和准确对齐。该单元包括四个主要组成部分：1）掩模阶段：该平台将模板和基板都放置在光刻区域上,从而确保可重复的精度。其传输范围为300 mm，可以调整以适应不同的基材尺寸。2）照明机：CANON MPA600FA的照明工具,使用先进的光源,为均匀曝光提供超高亮度。它可以产生约10nm的高分辨率成像，非常适合在半导体基板上制作高密度图样。3）对齐资产：该模型通过其精确的角平分线和执行器设备提供先进的对齐精度和控制。它允许晶圆级对准和调整,以确保最大程度的曝光精度。4） Z轴单位：Z轴单位保持掩模结构的高度,以便于调节。它还通过独立的边缘控制和自动对齐提供了掩码配准的最佳精度。MPA-600FA是任何先进技术生产的强大工具,旨在提供高精度模式传输。其先进的照明、对准和精密系统，加上其较大的光刻面积，使佳能MPA 600FA高精度生产电子器件的理想选择。