二手 CANON MPA 600 FA #9109111 待售

CANON MPA 600 FA是用于纳米制造、纳米压印光刻（NIL）和薄膜沉积等应用的最先进的掩模对准器。它采用了业界领先的标准，能够在亚微米级进行精密制造和分析。佳能MPA600FA的核心是其强大的63-Watt CO2激光，它产生极高的曝光强度和聚焦深度。这使得遮罩图样能够非常精确、均匀地暴露在各种不同的基板上，从光阻晶片到玻璃和硅材料。凭借0.01 µm的高分辨率，它与目前集成电路（IC）设计中发现的大多数特性兼容。此外，MPA-600FA还配备了两个精密控制的6轴直线电动机级。这些阶段允许精确和可重现的指向精度,使其有潜力高速在精细的详细结构上执行对齐应用。该机由CANON专利的MAVIC/AFH（多轴变化控制和自动对焦高度）技术进一步增强。通过使用内置的自适应传感器头和计算反馈，MAVIC/AFH系统允许动态控制运动表，自动防止由于布局设计和基板变化而产生的误差。此外，CANON MPA-600FA还配备了先进的操作控制系统，能够方便高效地操作。通过使用EtherCAT网络，用户可以轻松地访问进程控制/监控系统，允许他们从任何远程连接到机器的计算机监视和控制机器状态和修改。为保证生产顺畅，面罩对准器还配备了加热真空卡盘和真空泵，它们一起可以沉积恰到好处的真空，以便将基板固定到位。最后,CANON THERMON为掩模对准器提供了高级温度管理功能。这有助于保持机器各部件的最佳温度,确保保持曝光精度。因此MPA 600 FA是一种非常通用的精密制造和分析工具。凭借其业界领先的标准和先进的特点,MPA600FA一定会成为各种制造车间的支柱。