二手 CANON MPA 600 FA #9144946 待售

CANON MPA 600 FA是一种最先进的蒙版对齐器，用于光刻和晶圆图案。这种类型的对齐器使得可以创建精确的模式，用于半导体芯片、MEM、LED，以及几乎任何类型的微加工。佳能MPA600FA具有320毫米的基板尺寸、最高的光学精度、高分辨率、高精度、高生产率。其速度也因其5轴运动控制设备的高精度而提高。机器的高精度确保在制造过程的每一个步骤中都能准确地复制图样。5轴运动控制系统还提高了精度，为调整过程提供了实时反馈。它采用专有衍射光学元件（DOE）技术进行设计,以提高光刻和晶圆图样的图像放置精度。DOE技术利用了一组非常精确的光学器件，这有助于创建可以从一个晶圆到另一个晶圆非常精确地复制的模式。MPA-600FA具有高分辨率的彩色数字液晶显示器,为用户提供易于使用的界面来监控整个操作。此外,它还配有一个集成的激光对准装置,用于快速准确的基板放置.这台机器允许用户在单步中将芯片模式与掩码对齐，然后多次复制模式的位置。MPA 600 FA还附带多次通路扫描、波长选择、曝光优化等几项自动功能。这些功能提高了制图的整体效率和精度。总体而言，CANON MPA-600 FA能够对高质量的微观图样进行微加工，并提高光刻和晶圆图样的吞吐量和准确性。其特点使其成为先进光刻和晶圆图样应用的理想选择。