二手 CANON MPA 600 FA #9182978 待售

CANON MPA 600 FA
製造商
CANON
模型
MPA 600 FA
ID: 9182978
Mask aligners.
CANON MPA 600 FA掩模对准器是一种全自动立体光刻机,设计用于生产半导体和电子器件的高分辨率光掩模。该机器能够快速制造各种应用的光掩模,并能够生产高精度的掩模,从而获得生产设备的最高产量。该机具有先进的光学设备、计算机数控(CNC)编程和自动场景分析功能。CANON MPA600FA是一种多轴定位系统,采用同步运动技术,对基板进行极精确的遮罩对准。为确保整个掩码制造过程符合客户的规范,在生产每个掩码之前都要执行校准错误检查。该机还配备了视觉对准装置,以验证面罩的放置和规格。MPA-600FA的最高速度为每小时4,000次对准,面罩尺寸可达200 x 200 mm。机器的对准精度为0.02 𝜇m焦点深度为0.2 𝜇m。该机还能处理6英寸和8英寸的光掩模。它采用同步气垫级进行高速运行。该机还支持三维对准,并配有激光模式识别,用于精确对准。MPA-600 FA包含了许多高级功能,以确保设备的最高产量。该机配有内置的热成像传感器,可确定面罩制造前后的温度。这样可以防止蒙版在生产过程中失真。该机器还包含一个实时成像机器,可以检测到掩模缺陷的存在。MPA 600 FA设计为用户友好,并包含一个用户友好的界面,用于编程和控制机器。该计算机具有直观的菜单和显示屏,还具有液晶屏控制面板。机器上装有警报工具,可以提醒用户任何机器故障。CANON MPA 600FA附带了一个全面的软件包,旨在确保尽可能高质量的掩码。该软件允许用户创建自动模式识别和对齐例程以及自动配方管理。该软件还允许用户编辑现有的掩码设计,并对任何现有的掩码轻松运行统计分析。该软件还使用户能够存储、打印和电子邮件掩码设计。
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