二手 CANON MPA 600 FA #9200847 待售
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已售出
ID: 9200847
晶圆大小: 6"
Aligner, 5"-6"
Oscilloscope: TEKTRONIX TDS 3012 (Auto alignment signals)
IUC Meter: IUC- M3S
Double / Single indexer
Scan motor
Auto hand turn (unlock like turn table)
Glass wafer & chuck, 6"
LED:
For flat finder with high bearing, 6”
Observation light in alignment scope
Extension cable:
Automatic alignment PCB: 4 x 60 pin
PCB 17 / 18: 2 x 50 pin
Camera / Monitor observation system
Laser adjustment tool
(4) Spare foots
Tube for fill cushion foot
Lamp
Vacuum pump
(2) BD0-5200
BD1-3294
(2) CTC / TDC
(2) Long cables with sensor
Cover with powder coating
Light condition:
Input: 1800 W
Output: 700 mW / cm2 for 1.6 mm slit
Manual included.
CANON MPA 600 FA是一种先进的用于基板微和纳米阵列的掩模对齐器。它旨在实现电子设备和纳米结构基板的高精度制造。该设备利用X-Y步进电机驱动单元来精确定位基板相对于具有纳米控制的标线（掩模）。标线安装在玻璃卡盘中,在X和Y方向上均可调节至+/-18mm。内置激光干涉仪测量卡盘相对于已知参考点的亚微米位置变化。此功能可确保非常精确的对齐,并提供一致的配准,使系统非常适合关键应用程序。CANON MPA600FA采用先进的接触曝光方法，以确保高分辨率打印，最小特征尺寸为0.3微米。该单元先进的光学机器允许可变聚焦和可调光学滤镜，以提高图像质量。光路由一个冷凝器、瞳孔和物镜组成，所有这些透镜都经过优化，以达到最佳的光学性能，并在曝光过程中通过改变光的强度和截面来进行修改。石英标线架的设计是为了最大限度地减少颗粒污染和最大限度地减少定位误差的最高质量的光刻图像。MPA-600FA配备了专用的400W氮辐射炉，简化了微型化过程中的退火过程。它采用自动温度控制和可调节的氧气流率进行精确的温度分析。此外，该工具能够处理直径达300毫米的大型基板。该资产配备了基于配方的设备控制综合模型软件包。它简化了编程并提高了生产率。该软件可实现自动调整、曝光和开发,使用户能够专注于研究而不是繁琐的系统操作。MPA-600 FA是一种先进的掩模对齐器，提供纳米精度和优越的光刻图像质量。它易于操作，可用于各种微观和纳米模式的应用。
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