二手 CANON MPA 600 FA #9250757 待售
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已售出
ID: 9250757
晶圆大小: 5"
Mask aligner, 5"
Cassette type: Single
Mask size, 6"
Slit size: 1.6 mm
Main body:
Illumination system
Alignment scope
Lab unit
Mask stage
Wafer stage
Pre-alignment unit
Auto feeder
Operation panel
Lamp power supply: AC 200V
CTC Unit:
No TDC
AC 200V
Control unit:
AA1
AA2
AA3
AA4
PFD SV Drive
MPU
AS / IL / ML
Mask stage IF
Wafer stage IF (I)
Wafer stage IF (II)
VAC Switch IF
Scan stage
Panel IF
MV/ TT / AF IF
AF MPU III
AF IF2 (III)
Scan drive
DC Power supply
Accessory box 1:
(3) Hoses
Exhaust elbow
Gauge, push arm, focus knob, screws
Pre-aligner
(2) Manuals
(2) T-handlers
Glass mask
Black guide cover
Auto hand
Mask holder
Wafer disk
Accessory box 2:
Monitor / Stand
(2) Wafer chucks
Fan
(2) Cables
Camera
Camera power supply
Slit unit
Light unit-led type
Microscope head
Locking condition:
Main body locking
Lab locking
Wafer stage locking
Mask stage locking
Lens locking
Auto feeder locking.
CANON MPA 600 FA是来自CANON的最先进的掩模对准器，提供高级电子束光刻功能。该设备能够实现高分辨率成像，在各种基板上均匀的阵列。它采用高精度扫描电子显微镜和电动xyz级，为显影面膜的每一层提供良好的接触对准和低失真。软件设备包括一个易于使用的界面,可用于用户定义的布局设计,并提供多种工具来精确对齐掩码。该系统与多种薄膜和抗性材料兼容，分辨率低至0.5 μ m，可用于高精度图样绘制。该设备还具有广泛的设备测试和验证功能，如自动调谐晶片级和自动照片姿态监视器。勺子上的张力，晶圆探针的安装，以及激光划线参考线，都可以自动调整，允许精确的掩模对准。此外，室内的高真空环境可以防止环境因素影响电子束的光路。该设备具有较高的吞吐量,易于与工厂自动化机器集成。它旨在在需要高通量光刻时产生高收率并提供一致的结果。它可以容纳尺寸最大为8英寸的基板，还配有步进机动化台阶，用于在开发过程中的准确步骤。总体而言,CANON MPA600FA是一款功能强大且用户友好的掩码对齐器,可提供高吞吐量和快速周转时间的精确阵列。它的灵活性和准确性使其非常适合原型和大批量生产运行。
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