二手 CANON MPA 600 Plus #9192664 待售

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CANON MPA 600 Plus
已售出
製造商
CANON
模型
MPA 600 Plus
ID: 9192664
Aligner.
CANON MPA 600 Plus mask aligner是专为满足半导体器件制造需求而设计的专业级光刻解决方桉。该工具提供了具有高精度对齐和迭加功能的快速阵列。MPA 600 Plus具有最大的吞吐量能力和广泛的曝光时间,是制造复杂集成电路设备的理想平台。CANON MPA 600 Plus设备包括主机、掩模级、晶片级、标线级和驱动系统。主机容纳了该单元的电子子系统,如高分辨率成像机、晶圆处理硬件、软件控制以及各种输出系统。遮罩级提供了对标线级的精确对准,并具有八节点校准,以获得更高的精度。晶圆级允许变速操作、自动高度跟踪和工具精确缩放。标线级具有超高分辨率传感器,可精确对准掩模和晶片。驱动器工具为资产中的所有组件提供电源。MPA 600 Plus具有高分辨率映像功能、高级曝光管理和直观的用户界面。该型号还提供了许多可选功能,如自动晶片处理、高速聚焦和自动曝光控制。该装置还能够进行多种操作,包括光刻、计量和沉积。CANON MPA 600 Plus与一系列的底物兼容,从低成本的CMOS底物到超高速的砷化氙。所有功能-最佳掩码对准、自动化过程控制、快速吞吐量和精确的成像-使MPA 600 Plus能够适应最复杂集成电路的制造。CANON MPA 600 Plus还提供多种安全协议,包括安全摄像头监控、安全出口、紧急停止系统和安全室。这样可以确保所有操作都在安全的环境中进行,并且设备仍符合OSHA标准。总体而言,MPA 600 Plus是一个创新而强大的光刻系统。该设备的设计具有最大的吞吐量、准确性和安全性,能够处理最复杂的基板设计。该装置是半导体器件制造的宝贵工具,大大缩短了工艺时间,提高了集成电路的精度和可靠性。
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