二手 CANON MPA 600 Super #293606918 待售

CANON MPA 600 Super是一款先进的口罩对准器，用于制造集成电路。它能够以高精度对准各种材料。使CANON MPA600SUPER如此强大的功能包括分辨率为5纳米的显微镜、多个曝光源以及高度精确的闭环定位设备。MPA-600SUPER是一个全自动的遮罩对准系统，可用于对准不同种类的遮罩材料，包括金属、聚酰亚胺和石英。它使用5纳米分辨率的显微镜扫描仪，确保掩模和晶圆之间的精确对准。CANON MPA-600SUPER可用于生产各种类型的芯片，包括逻辑、内存和高速处理器芯片。它是为量产和原型设计的，吞吐量高达每小时25晶圆。机器上提供的多个曝光源，包括紫外线光源，使其适合多种类型的光刻应用，包括接触、投影以及前端和后端工艺。MPA 600 Super包括一个用于精确对齐掩模和晶圆的闭环配准单元。配准机由两组光学编码器和一个与显微镜扫描仪配合工作的线性编码器组成，以精确地对掩模和晶片相对于彼此的每一个位置进行配准。这确保了掩模相对于晶片的位置是精确的，这对于可重复的光刻过程是必不可少的。除了先进的掩码对齐功能外,CANON MPA-600 SUPER还提供多种其他功能,如集成曝光工具、自动对焦和自动校准以及自我校正的自动对齐资产。曝光模型可用于快速准确地将晶片暴露于所需参数，而自动聚焦设备则有助于确保曝光参数与预期曝光保持一致。MPA-600 SUPER可用于大量生产各种芯片。它的紧凑设计使得它非常适合研发项目，因为它可以快速部署到实验室或生产线。其5纳米分辨率、高通量、精确对准系统，使其成为强大的掩模对准解决方桉。