二手 CANON MPA 600 Super #9033449 待售
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已售出
ID: 9033449
晶圆大小: 6"
Mask aligners, 6"
Specifications:
Exposure performance:
Exposure field: R 95 mm
Resolution: ≤ 1.4 um
Exposure wavelength: 365 nm i-line, 405 nm h-line, 436 nm g-line
Reduction ratio: x1
DOF: ± 6 um (1.5 um line and space)
Illuminator:
Light source: 2.0 kW Super high pressure mercury lamp
Intensity: 550 ± 50 mW
Uniformity: ± ≤ 3%
Wafer alignment:
Alignment light source: He-Ne laser (633 nm)
Alignment system: HE-NE TV AA
Auto PDC
Alignment accuracy: LBS-AA ≤ 0.54 um; TV-AA ≤ 0.40 um
Scanning mechanism:
Scan drive unit: Scanning the carriage unit by linear motor drive
Scan range: 4", 5", 6"
Scanning speed: 4.0 - 150.0 sec (31.3 mm/sec to 0.83 mm/sec)
Focus error: Arc focus less
Alignment scope:
Viewing scope light resource: Halogen lamp
Erector lens:
Viewing lens: Auto moving
Erector: 1x, 2x, 5x
Mechanical pre-alignment:
Pre-alignment accuracy: ≤ 60 um.
CANON MPA 600 Super是一款电动口罩对准器，设计用于在制作细线图桉时生产8英寸、12英寸、13英寸的圆周口罩。它利用激光自动对焦设备对掩模和晶片基板进行精确对准，并利用先进的电动级控制系统进行覆盖精度。佳能MPA600SUPER能够生产最小线宽0.25微米、间距0.2微米的口罩。面罩对准器有一个高度可靠的曝光成像单元，使用一个可调的6激光束编排器，其中包括带有升高/降低激光线的四激光光栅。激光光栅与电动级运动精确配合，提供非反射加工环境，确保图像中的高质量图桉。由流程控制的曝光机通过允许用户快速选择曝光压力和步长来适应作业,从而简化了整个蒙版流程。MPA-600SUPER还有一个对齐监视器显示,为用户提供全面的对齐信息。它包括舞台的操纵杆控制，可以方便准确地放置遮罩和基板。19英寸的大型彩色显示器还提供了更详细的显示,用于对齐过程的更大视图。此掩码对齐器具有扫描工具,该工具利用非接触式直接驱动器编码器来减少与常规自动对焦系统相关的时间和费用。其步进电机控制在舞台运动过程中提供精度，在激光光栅调节过程中具有高精度配准。MPA-600 SUPER具有一系列内置的安全功能,旨在在操作过程中保护用户和设备。这包括在不维护职业安全时防止激光运行的互锁资产，以及可按下的紧急停止按钮，以便立即停止运行。总体而言，CANON MPA-600 SUPER是一款功能齐全的电动面罩对准器，专为生产高精度图桉而设计。其组件允许定位精度和曝光精度,而一系列安全功能保护用户和设备。因此,掩模对齐器非常适合于毫米、厘米和亚微米范围的应用。
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