二手 CANON MPA 600 Super #9055549 待售

CANON MPA 600 Super是一款用于半导体及相关行业的高精度光刻的掩模对齐器。它用于制造高分辨率微结构，是许多生产工艺的重要组成部分。该设备采用了先进的四象限掩模特性，具有较高的对准精度和较高的生产率。佳能MPA600SUPER由独立、高精度的对准系统和高速算法提供动力。它提供了两个自由度的对齐单元，确保即使有不对称的图样或不同的栅格大小的掩模和晶片的高精度对齐。该机还具有亚微米光掩模尺寸检测能力，用于非常小的对准目标。MPA-600 SUPER的真空卡盘即使在处理大型基板时也能提供优异的基板保持能力和出色的平整度。该工具的高性能投影光学元件和激光辅助模式对准提供了低成本、高精度的曝光。资产还提供自动化的对齐和曝光控制功能,使处理复杂模式更容易、更高效。佳能MPA-600SUPER还具有若干安全和环境特点。利用内置的激光安全互锁模型，防止意外暴露于危险波长。空气流量传感器还监测设备周围的空气质量，如果检测到不安全状况，则关闭设备。最后，佳能MPA-600 SUPER是一个极其可靠的系统。其先进的故障检测和自动恢复功能确保了高效、长期的运行。由于其强大的设计和用户友好的功能,该单元提供了较低的维护成本。此外，佳能为其所有产品提供全面支持。总体而言,MPA600SUPER是一款具有高精度和可靠性的高级掩码对准器。其精密的对齐机床和安全特性使其成为需要高精度光刻的生产工艺的理想解决方桉。