二手 CANON MPA 600 Super #9057709 待售

CANON MPA 600 Super是专为专业用途而设计的线罩对齐器的顶部。它在光刻和晶圆级封装技术领域提供了广泛的能力。这台机器可以处理各种不同图样和厚度的面膜，其尺寸高达200毫米晶圆的三分之一。CANON MPA600SUPER配备了三轴、八区、单面光学设备，提供晶圆上对准标记和器件特征的精确对准。系统的设计允许有多个焦点区域的大场扫描，消除了在晶圆上多次通过的需要。此外,该单元还具有内置的对准标记检测器,用于精确对准晶圆上的掩码。该机专为高通量操作而设计，每小时最高可处理3000个晶圆。该机采用了最先进的数字信号处理器和PID控制器,确保了准确一致的过程控制。此外,它还利用获得专利的射频阻抗匹配技术进行非常精确的对准.在功能方面,MPA-600SUPER提供了一个完整的列表。它提供1 µm的自动步长；一个三区投影透镜，用于所有区域的均匀照射；简化手动对齐的焦点查找器功能；以及用于微调的光学散焦控制调整。它还配备了自动调谐激光器，针对聚焦激光器的最佳强度和光斑大小自动调整。此外，该工具有一个自动化的晶片提升器，使用户能够方便地去除晶片并从对准室中装载它们。此外,它还具有集成的UV二极管激光器,可精确控制曝光的脉冲.总体而言,MPA600SUPER是专为专业用途而设计的线罩对齐器的顶部。它结合了先进的技术和易于使用的功能,能够在一系列应用中对晶圆和掩码进行高质量和准确的处理。利用资产获得专利的射频阻抗匹配技术和最先进的数字信号处理器,它为高通量操作提供了精确的对准以及快速、一致和可靠的性能。