二手 CANON MPA 600 Super #9179483 待售

CANON MPA 600 Super是由CANON生产的高精度、高速的口罩对准器。这种装置主要用于各种掩模检查、光掩模曝光和光敏光学处理，如半导体器件制造的光学曝光处理和光学对准。佳能MPA600SUPER的基本结构主要由光学层压定位器、主从配置、照明设备和冷却系统四个部分组成。它可以用于4英寸到12英寸不等的各种晶圆尺寸。MPA-600SUPER的光学层压定位器设计用于将晶片牢固地固定在适当的位置,以用于暴露于光、灰尘、划痕和其他污染物的过程。它配有光学安装台，能够精确对准半导体器件制造所需的苛刻光学光刻。设备的主从配置用于控制光学层压定位器的运动。它是一种先进的机械控制装置，即使在光掩模交换操作中也能非常精确地定位晶圆。此精度可确保过程步骤的准确性和可重复性。安装在CANON MPA-600SUPER的照明机是由高功率氙灯和DUV氘光源。光源在光掩模的整个区域提供均匀和可重现的曝光强度，即使是具有多种分辨率的复杂光刻图样也是理想之选。该装置中还集成了冷却工具，以保持等离子体腔室温度在工作范围内。这有助于在整个暴露过程中提供稳定的工艺条件。总体而言，MPA600SUPER是一项综合资产，为掩模检查、光掩模曝光和光刻工艺提供了一个稳定的平台。它是半导体制造和测试过程的理想解决方桉。