二手 CANON MPA 600 Super #9190612 待售

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CANON MPA 600 Super
已售出
製造商
CANON
模型
MPA 600 Super
ID: 9190612
Mask aligner.
CANON MPA 600 Super是一种紧凑、高精度的曝光工具,用于阵列光刻,设计用于制造半导体器件。它可用于任何微电子制造工艺,如紫外线光刻、高纵横比光刻胶制图,或任何其他需要出色制图精度的短波长技术。CANON MPA600SUPER的主要特点是它的高精度掩模对准器,能够持续提供精确的曝光精度和可重复的结果。掩模对齐器实现的纳米级精度保证了极好的平整度和曝光线性度。MPA-600SUPER还具有强大的曝光引擎,具有先进的曝光控制和各种可变参数。该系统可确保均匀曝光和微调曝光参数的能力。它还包括一个紫外线滤波器和衰减器,允许在各种照明要求上精确曝光。内置的Open Helios Programming Language (OHPL)软件可方便地访问MPA600SUPER的许多有用和高级功能。OHPL通过其直观的语法和与对齐器的深度集成,使用户能够快速开发自动曝光配方,以满足最苛刻的需求。对齐器还包含一个内部内存管理器,它使用户能够快速存储多个曝光配方。CANON MPA-600SUPER还具有多种集成的安全功能,旨在确保操作员的安全,同时允许用户优化机器性能。该系统包括安全互锁开关、激光模块、防静电屏蔽和钥匙锁开关。所有这些安全功能以及机器的自我诊断功能都提供了安全稳定的工作环境。总体而言,MPA-600 SUPER是一种高度可靠、用户友好且精确的掩码对齐器。该对齐器具有先进的特点和可靠的安全特性,是微电子制造的理想工具。
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