二手 CANON MPA 600 Super #9240097 待售

CANON MPA 600 Super是一种用于生产半导体器件的尖端微加工设备。它是一种蒙版对齐器，意味着它被用来精确对齐和曝光光掩模到涂有光刻胶的晶片上。CANON MPA600SUPER的光学放大倍率为40X至100X,精度优于30nm,并且具有4维对准功能（X、Y、θ和Z）。这使得遮罩对齐器能够在广阔的视场上以纳米精度对光掩模进行对齐。为了保证精确的对准和均匀的曝光，本机配备了高精度级、衍射受限透镜、光束分裂以及用于像差校正的原始光束光圈。MPA-600SUPER还利用数字线路/空间成像技术纠正对准误差，并将线路/空间分辨率提高一倍。此外，这台机器还配备了高强度的卤化汞光源。这允许高通量曝光和较短的重迭曝光时间进行高清成像。MPA 600 Super还提供了先进的晶圆处理，包括采用晶圆级变形控制机构的晶圆管理系统、晶圆吸力机构和旨在最大限度减少污染的自动提升系统。这台机器还提供先进的安全功能,如防反射玻璃和反射光传感器,可检测光掩模上是否存在任何材料。MPA600SUPER还具有精确的曝光剂量控制和自动关闭系统，以确保防止过度曝光光掩模。这些特性使MPA-600 SUPER成为生产各种具有非常高精度和可靠性的半导体器件的理想工具。