二手 CANON MPA-7500 #293755831 待售

CANON MPA 7500 Mask Aligner是专为光刻应用中使用的光掩模的对准、曝光和开发而设计的设备。Mask Aligner通过使用其广泛的功能,提供了高精度和高运行速度。Mask Aligner配备了晶片卡盘和电机驱动的调节设备,这两种设备都能够以非常高的精度（0.001mm）对准mask和wafer。Mask Aligner还配备了一台数码相机，用于对mask-wafer对的对准进行成像，并允许对任何错位进行校正。MPA 7500还具有用于生产质量一致的光掩模的CDRH-4曝光单元。该曝光单元由X-Y级驱动，能够生产光学密度超过1.5的掩模，提供可重复曝光和理想的CD均匀性。X-Y级还与电动机驱动的对准系统集成，允许更精细的调整和纳米级的对准精度。CANON MPA 7500还提供各种类型的曝光后测量系统，如CD-SEM和晶圆映射，允许精确的曝光后诊断。Mask Aligner还配备了令人印象深刻的各种安全功能，包括一个安全快门单元和一个自动控制的臭氧过滤机器，以防止在提升步骤中产生的臭氧逃离设备，确保用户安全。总而言之，MPA 7500 Mask Aligner是生产精确度和速度无与伦比的复杂光掩模的绝佳设备。其独特的特点和令人印象深刻的安全特性使其成为精密光刻应用的理想选择。