二手 CANON PLA 500F #131142 待售

CANON PLA 500F是为研究机构和生产线设计的全自动口罩对齐器。用于光刻、薄膜沉积、蚀刻、图样识别、薄膜对准等多种晶圆应用。PLA 500F的主要组件是控制控制台、曝光单元、曝光单元2、分配处理程序和支持单元。Control Console配备了大型图形彩色显示屏，并提供了多种用于控制设备的选项和功能。它包含易于控制和使用的用户友好软件。The Exposure Unit is appeared a 6 inch dia stepper motor that is capable of support 0.25 μ米步进分辨率。The Exposure Unit 2 is a high-speed, thin-film deposition unit is designed for narroger processing domains.它的16英寸dia步进电机允许改进的0.03µm分辨率。分配处理程序是一个全自动交换单元,它将曝光单元和曝光单元2与控制控制台连接起来。它用于控制薄膜图样到晶圆表面的对准和转移。支持单元是步进电机驱动的机械设备,能够手动在机器的加工区域中拾取和放置晶片。CANON PLA 500F与各种薄膜和抗蚀剂类型兼容，能够处理高达150 mm的晶圆。它具有最先进的模式识别软件，使系统能够精确对齐和传输薄膜模式的基板。该单元还允许可互换滤波器，它提供了广泛的薄膜厚度。PLA 500F除了精度高外，工艺周转时间快，为低维护设计。佳能PLA 500F用户友好、可靠、准确。它具有简单的触摸屏界面和易于使用的功能和设置。这允许用户快速设置和控制整个机器。PLA 500F用途极为广泛,提供了一系列选项来满足大多数生产和研究需求。它具有很高的精度和可靠性，是晶圆加工应用的理想选择。