二手 CANON PLA 501 F #293615023 待售
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CANON PLA 501 F是一种高精度的掩模对准器，旨在方便将精细的图样转移到广泛的基板上，包括半导体场效应晶体管（FET）。这种先进的蒙版对齐器特别适合于光刻应用，如印刷电路板、接触涂层、即时粘合剂等。佳能PLA-501F拥有强大的电动舞台，可以在X和Y方向上以极高的精度和可重复性移动。此阶段允许用户移动需要比以往任何时候都更快、更准确地阵列的基板。来自CANON的掩模对准器的曝光系统也高度先进，并具有两种不同的紫外线光源。照明光源由波长365nm的卤素灯和卤素方形灯组成。这样可以确保光照强度最适合图样传递。掩模对齐器还利用基准对齐系统，使其能够精确对齐基板和具有高重复性的掩模。PLA 501F提供极高的定位精度和分辨率。这是能够达到± 0.7微米的位置精度，当图案与25微米特征或更小的基板。一个图桉的两个点之间的距离也可以以± 2.0微米的高精度再现。CANON PLA 501F具有几个安全特性，如环境湿度计、从空气中去除臭氧和其他挥发性有机化合物（VOCs）的过滤器以及紧急停止开关。它还具有符合人体工程学的设计,便于操作和维护。总之，PLA 501 F是一种先进的掩模对准器，能够准确高效地将高保真模式传递到各种基板上。其先进的特性使其成为精密光刻应用的理想选择。
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